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半导体级过滤:海普折叠过滤膜如何保障电子特气与超纯水纯度?

2020.11.28

在纳米级别的芯片制造世界中,一颗比人类头发丝细小数百倍的颗粒物,就足以导致整个电路短路,造成巨大的财务损失。因此,对电子特气和超纯水 纯度的极致追求,是半导体工厂的核心任务。折叠过滤膜正是在这些“生命线”工艺中守护纯净的关键屏障。

颗粒物影响芯片良率
气体中的颗粒物:会导致晶圆表面产生缺陷,影响光刻、刻蚀和薄膜沉积的精度。
超纯水中的颗粒物:在清洗环节若残留颗粒,会直接附着在晶圆上,导致线路短路或开路。
半导体制造对杂质控制达到了原子级别。海普折叠过滤膜在以下环节扮演着“净化卫士”的角色:
折叠过滤膜在半导体行业中的应用场景
1. 电子特气过滤:从源头杜绝污染
半导体制造需要使用上百种高纯度、高价值的特种气体。海普高性能折叠过滤膜被安装在气瓶出口、阀门和工艺工具入口等关键点:

高效去除颗粒物:能有效过滤掉0.01微米甚至更小尺寸的颗粒。
低析出、低释气:采用半导体级材料,确保自身不会向高纯气体中释放金属离子或有机污染物,避免二次污染。
卓越的化学稳定性:能耐受腐蚀性、易燃易爆的特种气体,保障生产安全。

2. 超纯水系统终端抛光过滤
在经过反渗透、EDI和紫外线杀菌后,超纯水在进入工艺设备前,需要经过最后一道“精雕细琢”。海普高通量折叠滤芯在此环节至关重要:
终极颗粒物控制:深度去除水中残留的胶体、硅颗粒和细菌尸体。
极低的溶出物:滤芯经过严格的超纯水清洗和包装,确保其不会向水中释放任何离子或有机物,保障水质稳定在18.2 MΩ.cm。
高通量设计:满足芯片厂连续、大量的用水需求。

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